Японские производители литографического оборудования хотят удержать позиции после перехода на EUV, но будет сложно

В контексте перехода полупроводниковой отрасли на использование литографии со сверхжёстким ультрафиолетовым излучением (EUV) чаще всего упоминается оборудование холдинга ASML из Нидерландов, но поставщики оснастки и материалов из Японии тоже не собираются уступать перспективный рынок конкурентам. Сейчас они контролируют 31,3 % рынка этого оборудования.

Источник изображения: Corial

На протяжении последних двух десятилетий, как отмечает Nikkei Asian Review со ссылкой на статистику SEMI, японские поставщики оборудования для производства полупроводниковых изделий удерживали около 30 % мирового рынка, а в прошлом году показатель вырос до 31,3 %. Переход на EUV-литографию сопряжён не только с ростом затрат, но и с изменением конкурентной обстановки — консолидация наблюдается и здесь. Например, Nikon и Canon уже выбыли из конкурентной борьбы под нажимом ASML, в сложной ситуации находится производитель источников света для литографического оборудования Gigaphoton.

Источник изображения: Nikkei Asian Review

Tokyo Electron является третьим по величине производителем литографических машин, до марта 2021 года японская компания намеревается вложить в исследования и разработки не менее $1,25 млрд в расчёте на успех в наступающую эпоху EUV-литографии. Производитель оборудования для контроля за качеством фотомасок Lasertec в прошлом году более чем в два раза увеличил объёмы заказов, связанных с EUV-технологией. Tokyo Electron также поставляет химикаты для покрытия кремниевых пластин перед травлением, сейчас эта компания полностью контролирует поставки веществ, используемых при обработке кремниевых пластин с применением EUV. На развитие данного направления бизнеса Tokyo Electron намеревается тратить не менее 10 % годовой выручки.

Ожидается, что переход на EUV-литографию неизбежно сократит количество игроков рынка, поскольку увеличивается технологическая сложность изделий и оборудования, растут сопутствующие затраты. Слияния и поглощения станут верным признаком консолидации отрасли, возникнут новые альянсы. Достаточно вспомнить, что холдингу ASML наладить производство EUV-сканеров тоже «помогали всем миром»: на некоторое время акционерами компании становились Intel, TSMC и Samsung, как самые заинтересованные клиенты. В итоге Intel вложила больше всех, но до сих пор не смогла оправдать эти затраты, поскольку EUV-литографию собирается внедрить позже основных конкурентов — только к концу 2021 года.